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用等离子增强化学沉积方法在柔性不锈钢(stainlesssteel—SS)衬底上制备了n-i-p非晶硅/微晶硅叠层太阳电池，重点研究了叠层电池隧穿复合结中非晶硅复合层的掺杂比例(B2H6/SiH4)及其厚度对隧穿复合结I-V性质的影响。通过调节复合层的掺杂比例和生长时间得到了电阻和整流特性最小的隧穿复合结。将该隧穿复合结应用到电池后得到了初始效率达11.2％的非晶硅/微晶硅叠层电池。