【摘 要】
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本文基于含氟 PI 的优良的溶解性、低光学损耗、介电常数、吸湿性和折光指数等性能，将氧膦引入聚酰亚胺主链中，以提高 PI 在基质上的附着力，同时在主链中引入光敏性基团查尔酮，赋予 PI 以感光性能。由此制备的光敏聚酰亚胺易于加工，光学损耗低，在基质上有一定强度的附着力，成膜后，膜收缩率低而使得加工的器件不易发生形变，因此可望在不断发展的微电子工业的精细器件中得到应用.
【机 构】
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中南民族大学化学与材料科学学院,湖北武汉,430074
【出 处】
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2005年全国高分子学术论文报告会
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本文基于含氟 PI 的优良的溶解性、低光学损耗、介电常数、吸湿性和折光指数等性能，将氧膦引入聚酰亚胺主链中，以提高 PI 在基质上的附着力，同时在主链中引入光敏性基团查尔酮，赋予 PI 以感光性能。由此制备的光敏聚酰亚胺易于加工，光学损耗低，在基质上有一定强度的附着力，成膜后，膜收缩率低而使得加工的器件不易发生形变，因此可望在不断发展的微电子工业的精细器件中得到应用.
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