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本文进行了同轴电极脉冲调制射频放电中亚稳态研究、脉冲调制射频辉光放电中气体温度(Tg)研究和脉冲调制射频放电中自组织斑图机理研究。
脉冲调制射频放电的亚稳态、气体温度、斑图研究
【摘 要】
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本文进行了同轴电极脉冲调制射频放电中亚稳态研究、脉冲调制射频辉光放电中气体温度(Tg)研究和脉冲调制射频放电中自组织斑图机理研究。
【机 构】
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大连理工大学,物理与光电工程学院
【出 处】
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第十七届全国等离子体科学技术会议
【发表日期】
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2015年8期
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