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本文结合ICP-MS分析方法国标的制定,对电子工业气体中的金属元素进行分析.本文探讨了各类气体的处理方式,分析方法的原理、步骤.用ICPMS对气体样品进行分析，对样品的处理按气体种类分为两种。该方法对适用于对气体中金属元素的测定.
ICP-MS分析气体中的金属元素
【摘 要】
：
本文结合ICP-MS分析方法国标的制定,对电子工业气体中的金属元素进行分析.本文探讨了各类气体的处理方式,分析方法的原理、步骤.用ICPMS对气体样品进行分析，对样品的处理按气
【机 构】
：
上海市计量测试技术研究院,上海,200437西南化工研究设计院有限公司,成都610225
【出 处】
：
2015全国气体标准化联合会议
【发表日期】
：
2015年11期
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