【摘 要】
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锆钛酸铅(PZT)材料是一种具有高机电系数、高介电常数和高剩余极化强度。的功能材料，具有优异的介电、压电、铁电性能和光学特性。由于基于PZT的器件具有工作带宽广、反应速度快和灵敏性高等优点，因此PZT薄膜可以用于MEMS领域的各个方面，例如压电激励器、焦热红外探测器和超声器件。目前PZT薄膜器件的研制在理论与实验方面存在着一些亟待解决的问题，而这些问题主要集中在PZT制备与硅工艺兼容方面，其中包括
【机 构】
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厦门大学萨本栋微机电研究中心，厦门，361005
【出 处】
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中国微米纳米技术学会第十一届学术年会
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锆钛酸铅(PZT)材料是一种具有高机电系数、高介电常数和高剩余极化强度。的功能材料，具有优异的介电、压电、铁电性能和光学特性。由于基于PZT的器件具有工作带宽广、反应速度快和灵敏性高等优点，因此PZT薄膜可以用于MEMS领域的各个方面，例如压电激励器、焦热红外探测器和超声器件。目前PZT薄膜器件的研制在理论与实验方面存在着一些亟待解决的问题，而这些问题主要集中在PZT制备与硅工艺兼容方面，其中包括薄膜的制备工艺、微结构与性能、界面等问题。
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