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锗烷主要用于半导体、光伏太阳能和集成电路行业,是制造高纯锗和各种硅锗合金的重要原材料.主要介绍了锗烷的合成方法:化学还原法、电化学反应法、等离子合成法.同时介绍了锗烷的性质和用途.
锗烷合成工艺及用途概述
【摘 要】
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锗烷主要用于半导体、光伏太阳能和集成电路行业,是制造高纯锗和各种硅锗合金的重要原材料.主要介绍了锗烷的合成方法:化学还原法、电化学反应法、等离子合成法.同时介绍了锗
【机 构】
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佛山市华特气体有限公司,广东佛山528200
【出 处】
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全国特种气体第十七次年会
【发表日期】
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2013年10期
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