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全数字式容栅位移传感器具有结构简单性价比高等优点,但提高分辨率和灵敏度与提高动尺相对定尺的运动速度是一对矛盾.本文介绍了全数字式容栅位移传感器的系统构成和工作原理,分析了极板参数对速度极限和灵敏度的影响,最后给出了部分实验数据.
全数字式容栅位移传感器及其速度极限分析
【摘 要】
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全数字式容栅位移传感器具有结构简单性价比高等优点,但提高分辨率和灵敏度与提高动尺相对定尺的运动速度是一对矛盾.本文介绍了全数字式容栅位移传感器的系统构成和工作原理,分析了极板参数对速度极限和灵敏度的影响,最后给出了部分实验数据.
【机 构】
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仪器工程系,上海交通大学(中国上海)
【出 处】
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第八届敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2003年5期
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