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该文用平面靶射频磁控溅射在具有双轴织构的Ni片上外延生长CeO2和YSZ薄膜作为阻挡层，X一射线衍射φ扫描分析表明CeO2和YSZ薄膜具有强的C轴织构和较好的平面内双轴织构。用中空柱状靶直流磁控溅射在阻挡层上制各YBCO超导薄膜。在2cm波带测量了YBCO的表面电阻和谐振腔有载Ql值
在Ni片上制备YSZ/CeO2阻挡层和YBCO超导膜
【摘 要】
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该文用平面靶射频磁控溅射在具有双轴织构的Ni片上外延生长CeO2和YSZ薄膜作为阻挡层，X一射线衍射φ扫描分析表明CeO2和YSZ薄膜具有强的C轴织构和较好的平面内双轴织构。用中空
【出 处】
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第四届全国超导薄膜和超导电子学器件学术会议
【发表日期】
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1998年期
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