近十多年来,硬质衬底上透明导电氧化物薄膜的研究取得了重大进展.伴随着可穿戴设备市场和电子器件轻便化需求的不断扩大,下一代基于柔性衬底光电器件的开发成为了当今国际上的研究热点之一.在有机柔性衬底上制备的透明导电氧化物薄膜具有可弯曲、重量轻、不易碎、易于大面积生产、便于运输等独特的优点.本文中已成功采用简便地溶胶-凝胶工艺,通过对柔性衬底进行适度粗糙化处理、采用玻璃片托底等方式成功在PI衬底上制备了1％Al掺杂ZnO柔性透明导电薄膜.薄膜保持良好的c轴择优取向,平均透过率在70％左右,经过真空退火处理后得到的最优电阻率为2.52×10-1Ωcm,其光电性能已经接近于采用同样方法在玻璃衬底上制备的样品结果.同时,本文系统性地研究了不同退火气氛、退火温度、掺杂元素、掺杂浓度等对柔性透明导电薄膜光电性能的影响.