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<正>MgO薄膜以其可在低温下实现外延生长,具有很好的热稳定性与化学稳定性,优良的界面性能及电学性能等特性,常被作为诱导多元氧化物功能薄膜的缓冲层材料,对其异质外延过程中应变行为及其控制方法的研究愈加备受重视。MgO薄膜通过激光分子束外延(LMBE)一反
蓝宝石衬底上外延生长MgO薄膜过程中的应力研究
【摘 要】
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<正>MgO薄膜以其可在低温下实现外延生长,具有很好的热稳定性与化学稳定性,优良的界面性能及电学性能等特性,常被作为诱导多元氧化物功能薄膜的缓冲层材料,对其异质外延过程
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;
【发表日期】
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2004年期
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