【摘 要】
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本文采用多弧离子镀技术在Ti6Al4V合金表面沉积制备了TiCN涂层.涂层沉积过程中通过调控基片偏压,系统地研究了沉积离子能量对TiCN涂层微结构演变和摩擦学性能的影响,摩擦介质分别为大气环境和海水环境.研究结果显示,所制备的TiCN涂层具有均匀致密的柱状晶结构,涂层总厚度约为2μm.随着沉积离子能量的增加,涂层结构更为致密,柱状晶形貌特征逐渐变得不明显.沉积离子能量增加也导致TiCN晶体相的择优
【机 构】
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河南工业大学 机电工程学院,河南郑州 450001 中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室、浙江
【出 处】
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第十一届全国表面工程大会暨第八届全国青年表面工程学术会议
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本文采用多弧离子镀技术在Ti6Al4V合金表面沉积制备了TiCN涂层.涂层沉积过程中通过调控基片偏压,系统地研究了沉积离子能量对TiCN涂层微结构演变和摩擦学性能的影响,摩擦介质分别为大气环境和海水环境.研究结果显示,所制备的TiCN涂层具有均匀致密的柱状晶结构,涂层总厚度约为2μm.随着沉积离子能量的增加,涂层结构更为致密,柱状晶形貌特征逐渐变得不明显.沉积离子能量增加也导致TiCN晶体相的择优取向不明显.随着沉积离子能量增加,TiCN涂层的硬度也增加,基体偏压为250V时,涂层的硬度可以达到26GPa.摩擦磨损测试显示不论在大气环境还是海水环境,随着沉积离子能量的增加,TiCN涂层的磨损率均降低.与大气环境相比,水环境中涂层的摩擦系数略有降低,这与摩擦过程中表面形成的水膜起到一定程度的润滑作用有关.
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