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Ｓｉ中注入Ｎ<'+>形成纳米硅薄膜的研究
【机 构】
：
科学技术大学研究生院
【出 处】
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第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议
【发表日期】
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1995年期
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