【摘 要】
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本文利用化学溶液沉积技术(CSD)在玻璃和单晶硅(100)衬底上成功制备出了符合化学计量比的钨酸钙多晶薄膜，采用X射线衍射技术(XRD)分析了薄膜的晶相结构,利用原子力显微镜(AFM)对其表面形貌进行了表征,使用荧光分光光度计测试了薄膜在室温下的发光特征。结果表明,通过化学溶液沉积技术(CSD)可以制备出具有单一四方相白钨矿结构的钨酸钙多晶薄膜,所制备的薄膜表面均匀,晶界清晰明显,并且在室温条件下
【机 构】
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四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064
【出 处】
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二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛
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本文利用化学溶液沉积技术(CSD)在玻璃和单晶硅(100)衬底上成功制备出了符合化学计量比的钨酸钙多晶薄膜，采用X射线衍射技术(XRD)分析了薄膜的晶相结构,利用原子力显微镜(AFM)对其表面形貌进行了表征,使用荧光分光光度计测试了薄膜在室温下的发光特征。结果表明,通过化学溶液沉积技术(CSD)可以制备出具有单一四方相白钨矿结构的钨酸钙多晶薄膜,所制备的薄膜表面均匀,晶界清晰明显,并且在室温条件下具有良好的光致发光特性,呈宽带发光,发光波段在蓝光波段,其发射峰在455nm。
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