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本文主要介绍了采用微波ECR等离子体增强沉积技术与磁过滤式真空阴极电弧离子镀相结合的方法,制备热障梯度涂层,实现了金属基体到陶瓷表面层的连续过度.
ECR微波等离子体增强沉积技术制备功能梯度涂层
【摘 要】
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本文主要介绍了采用微波ECR等离子体增强沉积技术与磁过滤式真空阴极电弧离子镀相结合的方法,制备热障梯度涂层,实现了金属基体到陶瓷表面层的连续过度.
【机 构】
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核工业西南物理研究院
【出 处】
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2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议
【发表日期】
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2004年期
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