【摘 要】
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该文叙述了激光光杠杆式原子力显微镜（AFM）的基本原理及主要性能，提出，用AFM测试研究光学和超光滑表面的微轮廓，可检测表面原子和分子量级的缺陷，得到微轮廓的真实图形，层析图及空间
【机 构】
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江西省科学院(南昌)南昌大学(南昌)
【出 处】
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第四届全国无损检测新技术暨第九届激光检测技术学术会议
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该文叙述了激光光杠杆式原子力显微镜（AFM）的基本原理及主要性能，提出，用AFM测试研究光学和超光滑表面的微轮廓，可检测表面原子和分子量级的缺陷，得到微轮廓的真实图形，层析图及空间频谱图等。测得的各种表面图象及频谱参数对于研究微轮廓的分类定标及其对高质量成象的影响都有重要意义。该方法测量光学表面在横向，纵向均有高分辨率，弥补了各种干涉测量方法横向分辨很低的缺点。文内给出了相应的测试实例。
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