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固体样品中的成分是冶金、地质、矿产、半导体工业等领域的重要研究课题，传统的分析方法以溶液分析为主，但其繁琐的前处理过程容易引入污染物，同时造成被分析物成分的丢失。直接固体分析无需复杂的样品前处理，避免了消解过程的时间消耗和伴随着的污染物引入、分析物损失等一系列风险，此外还保留了样品成份的表面分布及深度分布信息。