【摘 要】
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针对多晶硅厂还原炉内出现的土黄色粉末的成分进行了分析,对其生成原因和对多晶硅生产的影响进行了探讨。分析结果显示,该土黄色粉末的化学成分是单质Si,其形成机理是还原炉
【机 构】
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中国电子工程设计院能源与化工事业部,北京 100101
【出 处】
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中国化工学会2010年石油化工学术年会
论文部分内容阅读
针对多晶硅厂还原炉内出现的土黄色粉末的成分进行了分析,对其生成原因和对多晶硅生产的影响进行了探讨。分析结果显示,该土黄色粉末的化学成分是单质Si,其形成机理是还原炉炉底温度过高引起的形成无定形Si的副反应。还原炉炉底温度过低,副反应产物较少;炉底温度过高,副反应产物较多。
同时,对尾气组成的分析表明,当炉底温度较低时,尾气中反应物SiHCl3的含量较高,而反应副产物SiCL4的含量较低。控制较低的炉底温度有利于减少副反应的发生,从而达到降低物耗的目的。
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