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小型分散控制系统的设计和应用
【机 构】
：
清华大学
【出 处】
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中国计算机学会全国工业控制计算机91年会
【发表日期】
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1991年期
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介绍了采用簧片式硅弹性膜芯片研制成功的压力敏感元件和传感器,利用这种硅芯片已制得灵敏度和量程范围各不相同的性能优良的压力传感器.
This paper introduces the pressu
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