【摘 要】
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近年来,变螺距螺杆真空泵越来越受到真空业界的重视。与等螺距转子相比,变螺距转子具有排气功耗少、温度低、噪声小等优点。由于变螺距转子在抽气过程中具有内压缩作用,因此
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近年来,变螺距螺杆真空泵越来越受到真空业界的重视。与等螺距转子相比,变螺距转子具有排气功耗少、温度低、噪声小等优点。由于变螺距转子在抽气过程中具有内压缩作用,因此在转子压缩比大的情况下其具有气体过压缩的危险。本文提出一种具备过压排气功能的变螺距螺杆真空泵设计方案。当泵入口压力高于临界压力值时,中间泄压孔处气体压力将高于排气压力,此时中间泄压阀将自动或手动开启。过压缩气体在依次通过泄压孔、泄压腔、泄压管和泄压阀后被排出,从而保证螺杆真空泵在高压力阶段具有大抽速,避免了常规大压缩比螺杆泵必须变频降速运行而导致的抽速下降问题。当泄压孔处压力低于排气压力时,关闭中间泄压阀,被抽气体将全部从排气口排出。该设计方案压缩比大,排气功率小,故具有显著的节能降噪效果。
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