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本文介绍了海绵卷绕真空磁控溅射镀膜设备的结构及其特点,采用独特的传动机构,靶极结构及控制方式实现了海绵卷绕真空磁控溅射镀膜。
海绵卷绕真空磁控溅射镀膜设备的研制
【摘 要】
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本文介绍了海绵卷绕真空磁控溅射镀膜设备的结构及其特点,采用独特的传动机构,靶极结构及控制方式实现了海绵卷绕真空磁控溅射镀膜。
【机 构】
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沈阳新北方玻璃有限公司; 沈阳药科大学高等职业技术学院; 中科院沈阳自动化研究所现代装备研究设计中心; 沈阳真空技术研究所;
【发表日期】
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2004年期
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