部分空气桥式硅膜二维光子晶体

来源 :第五届全国光子学大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ironbra
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本试验在化学气象沉积(CVD)技术生长的 SOI 片中通过控制 HF 溶液腐蚀 SiO2的时间,选择性的腐蚀掉平板下部分支撑物,留有部分 SiO2来支撑平板,利用 FIB 技术直接刻蚀出具有三角形空气洞结构的二维光子晶体, 晶格常数和空气孔的半径分别为 0.42μm 和 0.12μm。通过平面波展开的方法计算出的带隙范围在 1.3-1.6μm。在实验中选用功率为 50w 的卤灯作为光源,光源经过起偏器后被一红外物镜会聚到光子晶体样品上,用一聚光物镜放在样品另一面用于接收光信号,数据采集系统由一台计算机控制的光谱仪和一个探测器组成。一个完全相同的没有光子晶体的样品用来校准透过率。本实验测得样品完整的第一带隙透过谱,带隙范围在 1.23μm -1.55μm,其中 Si 膜、SiO2层和空气层的折射率分别为 3.4、 1.4 和 1.0,对于对称平板的二维光子晶体计算出的带隙范围在 1.27 μm-1.6 μm。实验所得的带隙位置与理论计算带隙位置基本吻合。
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