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本文利用溶胶凝胶法合成了有机/无机杂化电光材料，采用光刻、湿法刻蚀、蒸镀铝膜等平面光波导制作工艺，制备了加载条形结构的极化聚合物分束器和3×3多模干涉光波导，并成功进行了近场输出光斑测试。
极化聚合物加载条形光波导的制备研究
【摘 要】
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本文利用溶胶凝胶法合成了有机/无机杂化电光材料，采用光刻、湿法刻蚀、蒸镀铝膜等平面光波导制作工艺，制备了加载条形结构的极化聚合物分束器和3×3多模干涉光波导，并成功进行
【机 构】
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集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林大学电子科学与工程学院,长春 130012
【出 处】
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第五届全国塑料光纤、聚合物光子学会议
【发表日期】
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2009年期
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