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MSM是紫外探测器的一种很有吸引力的结构。回顾了近年来GaN和A1GaN的MSM结构紫外探测器的研究进展，介绍了目前先进的AIGaN材料体系MSM紫外探测器的性能和结构等，综述了目前存在的问题和改进的方向。
MSM结构的Ⅲ族氮化物紫外光探测器
【摘 要】
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MSM是紫外探测器的一种很有吸引力的结构。回顾了近年来GaN和A1GaN的MSM结构紫外探测器的研究进展，介绍了目前先进的AIGaN材料体系MSM紫外探测器的性能和结构等，综述了目前存在
【机 构】
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第二炮兵212程学院物理教研室,陕西西安710025
【出 处】
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陕西省物理学会2007年学术年会
【发表日期】
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2007年12期
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