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本文采用等离子体质谱仪对四氟化钍中8种杂质含量的分析方法进行研究。确定了四氟化钍溶解方法，研究了酸度、雾化器流量、基体浓度等条件对杂质元素含量检测的影响。考察了共存元素的干扰，采用萃取分离技术消除了钍基体与部分杂质元素的干扰。研究了萃取分离对四氟化钍中杂质含量检测的回收率，选择合适检测条件与内标元素，建立了等离子体质谱仪对四氟化钍中8种杂质元素的检测方法。各元素检测相对标准偏差均低于109％，回收率在90％-110％之间。