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在商业化的氦液化器中,基本均已采用以低温分离为原理、自动化程度很高的内纯化器.本文对内纯化器中的主要流程参数进行了分析,并给出了最优值.通过分析，可以看出内纯化器中去除的杂质为N2、O2，一级换热器的最优出口温度点为65K,二级换热器在保证杂质含量不高于50vbm时，最优的出口温度点为32K。通过对内纯化器流程主要参数的分析，可以看出，本文推荐的参数点既保证了对污氦气的纯化效果，也使内纯化器的理论最大工作周期达到了最大值。