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本文综述了SOI(Silicon-on-insulator)技术的发展历程,SOI的主流技术,SOI技术发展的新动向,SOI技术的应用进展,并介绍了上海微系统与信息技术研究所和上海新傲科技有限公司的SOI研发和产业化情况.
SOI技术的发展动态
【摘 要】
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本文综述了SOI(Silicon-on-insulator)技术的发展历程,SOI的主流技术,SOI技术发展的新动向,SOI技术的应用进展,并介绍了上海微系统与信息技术研究所和上海新傲科技有限公司的
【机 构】
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中科院上海微系统与信息技术研究所,上海新傲科技有限公司
【出 处】
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第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会
【发表日期】
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2003年10期
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