【摘 要】
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钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3,BST)薄膜具有优良的铁电、介电性能,尤其具有介电非线性效应,使其在微波调谐器件方面得到广泛的应用.本文综述了国内外近几年钛酸锶钡在掺杂改性方面
【机 构】
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电子科技大学电子科学技术研究院成都611731
【出 处】
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综合电子系统技术教育部重点实验室暨四川省高密度集成器件工程技术研究中心2012学术年会
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钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3,BST)薄膜具有优良的铁电、介电性能,尤其具有介电非线性效应,使其在微波调谐器件方面得到广泛的应用.本文综述了国内外近几年钛酸锶钡在掺杂改性方面的研究现状,论述了一元掺杂的A位掺杂、B位掺杂、梯度掺杂和二元掺杂的二元共掺杂、二元交替掺杂对BST薄膜介电损耗和调谐率的影响.
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