【摘 要】
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使用期磁控溅射纳米调制周期的ZrAlN/ZrB2多层涂层,经X-射线衍射,扫描电子显微镜和纳米压痕分析调查调制周期对多层膜微观结构和力学性能的影响.结果表明,所有的涂料有明确的
【机 构】
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天津师范大学物理与电子信息学院 天津市 300387
【出 处】
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中国工程院化工、冶金与材料工学部第七届学术会议
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使用期磁控溅射纳米调制周期的ZrAlN/ZrB2多层涂层,经X-射线衍射,扫描电子显微镜和纳米压痕分析调查调制周期对多层膜微观结构和力学性能的影响.结果表明,所有的涂料有明确的多层结构.的强烈混合的ZrAlN( 111),ZrB2(001),ZrB2(101),和氮化铝(111)涂层在调制周期为40纳米时显现出清晰的多晶结构.同时,相比与其他调制时期,它拥有更高的硬度(约为36.4 GPa),弹性模量,断裂阻力,并且残余应力较低.
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