【摘 要】
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本文利用载流子注入引起材料折射率变化、基于光的全内反射原理和锗硅材料的等离子体色散效应，用传统的2×2 交叉结构和成熟的硅微电子制作工艺，提出并研制了用于1.31 μm 和1.55 μm 光纤通讯系统和全光网络的三种新型光波导开关。其结构分别为横向注入非对称结构、蝶形电极结构、和高载流子注入双模干涉结构。插入损耗均小于2.8 dB，串音小于－15 dB，开关速度小于180ns，最大开关速度可达30
【机 构】
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中山大学光电材料与技术国家重点实验室,广州510275
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本文利用载流子注入引起材料折射率变化、基于光的全内反射原理和锗硅材料的等离子体色散效应，用传统的2×2 交叉结构和成熟的硅微电子制作工艺，提出并研制了用于1.31 μm 和1.55 μm 光纤通讯系统和全光网络的三种新型光波导开关。其结构分别为横向注入非对称结构、蝶形电极结构、和高载流子注入双模干涉结构。插入损耗均小于2.8 dB，串音小于－15 dB，开关速度小于180ns，最大开关速度可达30 ns。这三种光波导开关具有体积小、单模运作、对偏振和波长不敏感等特点，非常适合于光纤通讯系统和全光网络应用，并且具有实现硅基光电子和光子单片集成优势。
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