吸波材料真空放气特性实验研究

来源 :中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十八届年会暨中国计量测试学会真空计量专业委员会第十三届年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liuyongqing0820
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  在真空材料放气率测试装置上对2 种吸波材料的放气特性进行了实验研究,实验采用的斱法为静态升压法。实验结果表明,在10-2 Pa 的真空度下,在5 小时内,2 种材料的放气率为10-9Pa·m3·s-1·cm-2 和10-8 Pa·m3·s-1·cm-2,且放气率随抽气时间的延长而减小。利用四极质谱计测得质量数为(1-200)amu 的范围内有谱峰出现,2 种吸波材料放出的气体组分分别为高分子物质和水汽。
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