【摘 要】
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对不同氧含量的太阳电池用直拉硅片进行了磷扩散吸杂、铝吸杂及磷－铝联合吸杂的研究。采用准稳态光电导衰减法（QSSPCD）测试了吸杂前后单晶硅片的非平衡少子寿命。发现三种吸杂方式对于硅片的非平衡少子寿命都有提高,而磷－铝联合吸杂的效果最佳；在不同厚度的铝膜的铝吸杂过程中，发现随着铝膜厚度的增加，吸杂效果更为明显。采用傅立叶红外变换测试吸杂后氧含量的变化，发现高氧样片有利于促进吸杂。
【机 构】
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河北工业大学信息功能材料研究所,天津300130;北京市太阳能研究所,北京100083 河北工业大
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对不同氧含量的太阳电池用直拉硅片进行了磷扩散吸杂、铝吸杂及磷－铝联合吸杂的研究。采用准稳态光电导衰减法（QSSPCD）测试了吸杂前后单晶硅片的非平衡少子寿命。发现三种吸杂方式对于硅片的非平衡少子寿命都有提高,而磷－铝联合吸杂的效果最佳；在不同厚度的铝膜的铝吸杂过程中，发现随着铝膜厚度的增加，吸杂效果更为明显。采用傅立叶红外变换测试吸杂后氧含量的变化，发现高氧样片有利于促进吸杂。
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