用于ESD失效定位的液晶探测技术

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本文介绍了用于半导体芯片ESD失效定位的向列相液晶探测技术,阐明了该技术在失效分析尤其是在ESD失效分析中的作用和优点,同时给出N沟结型场效应晶体管二个样品管ESD失效定位的应用实例,证实了PN结窗口边缘Si-SiO2界面是ESD损伤的主要部位.
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