【摘 要】
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微纳机械谐振器件作为一种实现电能和机械能转换的高性能机械结构，因其在固有频率处具有优越的振动性能、超高的灵敏度及高品质因子，在机械电子、射频通信、物理与生化传感
【机 构】
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上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室,上海,200240
【出 处】
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第十届动力学与控制青年学者学术研讨会
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微纳机械谐振器件作为一种实现电能和机械能转换的高性能机械结构，因其在固有频率处具有优越的振动性能、超高的灵敏度及高品质因子，在机械电子、射频通信、物理与生化传感、航空航天等领域有着广泛的应用前景。虽然微纳机械谐振器件的工作频率高，但其工作原理涉及复杂的能量转换过程，会呈现非常丰富的非线性效应和非线性动力学行为，同时受到尺度效应和表面/界面效应作用的影响，导致谐振器件产生能量耗散和动力学性能改变。
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