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微机械光开关是光通信网实现光纤到户的关键器件。该文提出了一种通过微机械表面工艺和体硅工艺实现的新型微机械光开关，该开关由多晶硅梁支撑的扭转镜和硅衬底形成的侧壁组成，硅梁和微镜是由多晶硅薄膜形成的。该开关是通过静电吸引微镜的方式改变输入光的方向，完成光路的转换。支撑微镜的硅梁是弹性元件，与其它部分没有摩擦，大在提高了光开关的寿命。多晶硅微镜上溅射了一层铝，以提高向镜的反射效率。