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本文在分析毫米波段分布式MEMS移相器电路结构和原理的基础上,提出了MEMS移相器加工制作材料微波特性分析方法.探讨在毫米波波段应用的低成本、低插入损耗、高隔离度、低开启时间和低下拉电压特性的MEMS移相器材料,为进一步研究和制作毫米波分布式MEMS移相器提供理论基础.
基于MEMS分布式移相器毫米波段材料特性分析
【摘 要】
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本文在分析毫米波段分布式MEMS移相器电路结构和原理的基础上,提出了MEMS移相器加工制作材料微波特性分析方法.探讨在毫米波波段应用的低成本、低插入损耗、高隔离度、低开启
【机 构】
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哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院,黑龙江,哈尔滨,150001
【出 处】
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2005全国微波毫米波会议
【发表日期】
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2006年期
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