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固体氧化物燃料电池（ＳＯＦＣ）的基础材料之一－－固体电解质Ｙ〈，２〉Ｏ〈，３〉稳定ＺｒＯ〈，２〉（ＹＳＺ），由于其比电阻高，为降低欧姆极化，通常采用薄膜材料。该文采用ｓｏｌ－ｇｅｌ法和Ｓｐｉｎ－ｃｏａｔｉｎｇ工艺，在多孔的锰酸锶镧（ＬＳＭ）阴极衬底上生长致密、均匀的ＹＳＺ固体电解质薄膜，并对结晶后的ＹＳＺ薄膜进行了Ｘ光衍射（ＸＲＤ）、扫描电镜（ＳＥＭ）等结构测试和分析讨论。