【摘 要】
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采用PCVD工艺,可实现“扩散硬化层+硬质涂层”的复合处理,工件变形小,涂层的附着力强、致密性好。采用脉冲DC-PCVD法制成的TiAlSiCNO系纳米复合涂层,完全不使用脱模剂,模具的
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采用PCVD工艺,可实现“扩散硬化层+硬质涂层”的复合处理,工件变形小,涂层的附着力强、致密性好。采用脉冲DC-PCVD法制成的TiAlSiCNO系纳米复合涂层,完全不使用脱模剂,模具的使用寿命大大延长,产品的精度大幅提高,而且作业环境也得到显著改善。采用PCVD方法可以提高类金刚石(DLC)涂层的附着力、耐热性、耐蚀性。另外,PCVD工艺,可应用于超级硼涂层表面改性,制成“超硬涂层”。
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