一种SiC非回转对称非球面光学元件的加工与检测技术研究

来源 :吉林省第五届科学技术学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gin901122

【摘要】

：

本文介绍了一种SiC材质的非回转对称非球面元件的加工和检测.本文提出了一种新的基于数字模板的非零位检测方法.即直接采用Zygo平面干涉仪检测工件,检测结果可以分为三部分：工件实际面形与理想面形的误差,工件理想面形与平面波前的误差和非共路误差.其中第二部分可以事先计算出来并转换为系统误差文件在检测过程中自动去除.通过在相同条件下检测一个已知的球面样板验证了非共路误差对于检测结果的影响可以忽略不计.由

【作者】

：

闫锋范镝张斌智李锐刚殷龙海张学军

【机构】

：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130033;中国科学院研究生院北京100084 中

【出处】

：

吉林省第五届科学技术学术年会

【发表日期】

：

2008年7期

【关键词】

：

碳化硅非回转对称非零位检测数字模板面形精度光学元件

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