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例举了大规模集成电路生产中，需要高纯度氮、氢、氧的技术要求。阐述了制备高纯度氮、氢、氧的方法、工艺流程，以及对设计高纯气体装置的特殊要求。
超高纯度氮、氢、氧的制备
【摘 要】
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例举了大规模集成电路生产中，需要高纯度氮、氢、氧的技术要求。阐述了制备高纯度氮、氢、氧的方法、工艺流程，以及对设计高纯气体装置的特殊要求。
【机 构】
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浦东德州路150弄74号602室
【出 处】
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机械工业气体分离设备科技信息网第十一次全网大会暨学术交流会
【发表日期】
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1998年期
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