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Corrosion and Tribological Properties of Ultra-Thin Ta-C∶N film for Recording Slider Protection in H
【机 构】
：
Shenzhen Graduate School, Harbin Institute of Technology, Shenzhen, P.R.China
【出 处】
：
The 11th International Workshop on Plasma-Based Ion Implanta
【发表日期】
：
2011年3期
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