【摘 要】
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在分析平面止回阀微泵结构与工作原理的基础上，对其进行了一定的假设与合理的简化，利用动力学原理对其模型进行了研究，获得了微泵流率与工作频率、工作压力等参数的关系；利用
【出 处】
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第一届国际微纳尺度生物医学分离和分析技术学术会议暨第六届全国微全分析学术会议
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在分析平面止回阀微泵结构与工作原理的基础上，对其进行了一定的假设与合理的简化，利用动力学原理对其模型进行了研究，获得了微泵流率与工作频率、工作压力等参数的关系；利用数值求解的方法，对微泵流率模型进行了求解，获得了微泵流率在不同工作压力、微腔高度以及微腔半径下随工作频率变化的模拟结果，同时获得了微泵工作膜在不同工作频率下随时间的变形规律，最后给出了一定条件下（工作压力、微腔高度以及微腔半径）模拟结果与实验结果的对比。研究结果表明：基于平面止回阀微泵模型获得的模拟结果符合实际，且与实验结果相比具有很好的一致性，从而验证了所获模型的正确性与准确性。
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