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该文综述了Ａｌ〈，２〉Ｏ〈，３〉、ＺｒＯ〈，２〉功能薄膜的国内外研究概况、性能用途及制备技术现状；展望了其今后的应用前景及需要解决的问题。
Al<,2>O<,3>、ZrO<,2>功能薄膜的性能及制备技术
【摘 要】
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该文综述了Ａｌ〈，２〉Ｏ〈，３〉、ＺｒＯ〈，２〉功能薄膜的国内外研究概况、性能用途及制备技术现状；展望了其今后的应用前景及需要解决的问题。
【机 构】
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理工大学材料系
【出 处】
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中国机械工程学会第三届全国表面工程大会
【发表日期】
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1996年期
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