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研究了氧分压对ZnO薄膜温差电动势的影响.用直流反应磁控溅射方法成功地制备了C轴取向性能良好的ZnO薄膜.实验研究发现,温差电动势和磁温差电动势随温度的变化呈线形关系.氧分压越大,温差电动势率越小.研究结果还表明,磁温差电动势比温差电动势小.
氧分压对ZnO薄膜温差电动势的影响
【摘 要】
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研究了氧分压对ZnO薄膜温差电动势的影响.用直流反应磁控溅射方法成功地制备了C轴取向性能良好的ZnO薄膜.实验研究发现,温差电动势和磁温差电动势随温度的变化呈线形关系
【机 构】
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重庆大学应用物理系,重庆,400044
【出 处】
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海峡两岸第二届工程材料研讨会
【发表日期】
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2004年期
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