In Situ Fabrication of Graphene Scaffold-ZrO2Nanofilms from Metal-Organic Oligomers for Thin Film Tr

来源 :中国化学会第八届全国配位化学会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sb198908240015

【摘要】

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In situ fabrication of graphenescaffold-ZrO2nanofilmson SiO2 substrates is achieved by spin coating and thermal annealing of Zr-based metal-organic oligomers [1].

【作者】

：

Qingqing Pang Deyan Wang Qiaowei Li

【机构】

：

Department of Chemistry,FudanUniversity,220 Handan Road,Shanghai,200433

【出处】

：

中国化学会第八届全国配位化学会议

【发表日期】

：

2017年10期

【关键词】

：

graphene scaffold-ZrO2nanofilms metal-organic oligomer high-k dielectric thin fi

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　　In situ fabrication of graphenescaffold-ZrO2nanofilmson SiO2 substrates is achieved by spin coating and thermal annealing of Zr-based metal-organic oligomers [1].

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