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MEMS晶圆片测试系统是MEMS产品在片测试的关键中测仪器.本文针对其在片绝缘电阻参数无法溯源的现状,制作在片标准件,解决了兆欧级电阻参数的校准问题,保证了MEMS产品绝缘特性测试的准确度,为在片绝缘电阻参数的校准提供了有效的解决方案.
MEMS晶圆片测试系统绝缘电阻参数校准技术研究
【摘 要】
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MEMS晶圆片测试系统是MEMS产品在片测试的关键中测仪器.本文针对其在片绝缘电阻参数无法溯源的现状,制作在片标准件,解决了兆欧级电阻参数的校准问题,保证了MEMS产品绝缘特性
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所,河北,石家庄050051
【出 处】
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2015国防无线电电学计量与测试学术交流会
【发表日期】
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2015年9期
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