微机械技术的研究与开发

来源 :中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luanwf
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微机械技术是指在数毫米、微米乃至纳米惊讶范围内生产微机、光、电器件的技术科学。该技术的成熟,先进与否,是决定微机械,微机电系统(MEM),微米电机系统(MOEMS)各种器件能否大批量,低成本生产的关系,也是广大科技者致力于解决的重心所在。为此,该文就构筑微机械技术体系的微加工技术,微装配技术,微夹持技术,微检测技术和微驱动技术作简要阐述及评论。文章阐述了各项专项技术的功能,现状,特点,新的成就及发展方向,可供参考之用,以求研究人员的高校,科研院所联合工厂企业一起,忙使得中国在该技术领域里能在世界上占有一席之地。
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