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基于相干布居捕获(Coherent Population Trapping)原理的铷微型原子钟(Chip Scale Atomic Clock)在精确授时、二代卫星导航等军民用都有广泛用途和市场，其中核心元件之一是能在约80℃高温下稳定工作的波长为795nm的垂直腔面发射激光器(VCSELs)光源。本文从VCSELs的材料和结构设计出发，对高温工作的VCSELs进行了光、电、热模拟分析；采用金属有机气相外延(MOCVD)利用等效晶格法进行了激光器材料生长；采用侧氧化等工艺进行了VCSEL器件制备，采用小口径器件结构，获得了在80℃下10mW量级的稳定输出，初步得到了应用。