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本文介绍了氮对多晶硅铸锭性能的影响与一种化学增强抗溶解氮化硅涂层，氮化硅涂层在熔融硅中不断溶解释放氮，造成硅锭氮过饱和/或氮化硅沉淀，会导致硅锭少子寿命严重下降，还有可能硬化晶体硅，使之相对更难切割。
氮对多晶硅铸锭性能的影响与一种化学增强抗溶解氮化硅涂层
【摘 要】
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本文介绍了氮对多晶硅铸锭性能的影响与一种化学增强抗溶解氮化硅涂层，氮化硅涂层在熔融硅中不断溶解释放氮，造成硅锭氮过饱和/或氮化硅沉淀，会导致硅锭少子寿命严重下降，还有可能硬化晶体硅，使之相对更难切割。
【机 构】
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南昌大学光伏研究院/湖南红太阳光电科技有限公司 山东辰宇稀有材料科技有限公司
【出 处】
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2018 年第十四届中国太阳级硅及光伏发电研讨会
【发表日期】
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2018年11期
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