利用双探针测量磁控溅射+电感耦合等离子体的电子温度和电子密度

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利用双探针在磁控溅射+电感耦合等离子体(ICP)源及单独 ICP 源工作情况下,以 Ar 气为工作气体,以银作为靶材所测得的等离子体区域的电子温度和电子密度。试验结果表明,随着 ICP 源输出功率的增大.电子温度下降,电子密度上升。为磁控溅射和 ICP 等离子体的工作原理分析提供了数据支持。
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