论文部分内容阅读
用ＰＥＣＶＤ的方法制备ＳｎＯ＜，２＞／Ｆｅ＜，２＞Ｏ＜，３＞多层薄膜材料其稳定性较ＳｎＯ＜，２＞单层薄膜材料得到明显改善，进一步研究表明，对ＳｎＯ＜，２＞／Ｆｅ＜，２＞Ｏ＜，３＞多层膜的表面进行适当的修饰，可使材料的其它特性进一步改善，经过直流溅射Ａｕ修饰的Ａｕ－ＳｎＯ＜，２＞／Ｆｅ＜，２＞Ｏ＜，３＞多层膜材料的工作温度明显降低，选择特性也得到改善。